“蘇州天準”研發(fā)的復合式高精度坐標測量儀獲重大突破。 □記者 周建越 攝

“項目研發(fā)至今，已申請發(fā)明專利20項、發(fā)表論文7篇、申請軟件著作權(quán)3項。”昨天，蘇州天準科技股份有限公司舉行新聞通氣會。由該公司承接的“國家重大科學儀器設(shè)備開發(fā)專項——復合式高精度坐標測量儀器開發(fā)和應用”獲重大突破，精度逼近0.3微米的最終目標。由此，中國成為繼德國、日本之后掌握同等高精度測量技術(shù)的第三個國家。

“這是我國在儀器儀表領(lǐng)域的一個重大自主創(chuàng)新成果，標志著中國在高精度測量領(lǐng)域達到全球頂尖水平。目前，國內(nèi)還沒有其他企業(yè)能達到‘蘇州天準’這樣的水平，該精度級測量已是高端制造業(yè)中的皇冠。”中國儀器儀表協(xié)會機械測量分會理事長謝華錕說。

記者在該公司恒溫車間看到，這款測量儀由測量部分和電腦部分構(gòu)成。品質(zhì)工程師陳偉超介紹：

“在測量部分的每個面上都裝有探針，儀器可自動掃描，并將測量數(shù)據(jù)傳送到電腦，來獲得精準精密數(shù)據(jù)。”該重大專項在“超精密三軸運動平臺、高精度復合式探測系統(tǒng)”兩方面取得重大突破。同時，在多測頭標定與數(shù)據(jù)融合、21項誤差補償?shù)阮I(lǐng)域也都有突破與創(chuàng)新。

近年來，我國精密測量儀器產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，但高精度精密測量儀器依然需要進口。“十二五”時期，國家科技部啟動“國家重大科學儀器設(shè)備開發(fā)專項”，重點支持包括精密光學儀器與系統(tǒng)在內(nèi)的具有市場推廣前景的重大科學儀器設(shè)備開發(fā)。

“1微米相當于一根頭發(fā)直徑的五六十分之一。這0.3微米極精度測量是5年前由德國、日本推出的。三年前，當我聽到蘇州企業(yè)要搞這樣的高精度測量儀、看到蘇州這幫年輕人在悉心攻關(guān)時，我的眼淚都要掉下來了。”今年已70多歲、一生從事測量儀器研究的謝華錕說。

“天準科技”由2016年蘇州十大科技創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)人物之一的徐一華于2005年在蘇州科技城創(chuàng)辦。他曾參與多項國家“863計劃”等重大項目，在微軟研究院工作多年。作為中國唯一具有研發(fā)亞微米級超高精度測量儀器能力的企業(yè)，“天準科技”在2013年承擔起這項重大專項后，就會同中國計量科學研究院、天津大學、中國科學院光電研究院等共同攻關(guān)。

“事實上，工業(yè)4.0及智能制造都呼喚有更精密的測量儀器作為后盾與基礎(chǔ)。通過實施好這一國家重大專項項目，將進一步為我國精密制造業(yè)提供工業(yè)自動化和智能化解決方案。”徐一華說。（記者 周建越）