“蘇州天準(zhǔn)”研發(fā)的復(fù)合式高精度坐標(biāo)測量儀獲重大突破。 □記者 周建越 攝

“項(xiàng)目研發(fā)至今，已申請發(fā)明專利20項(xiàng)、發(fā)表論文7篇、申請軟件著作權(quán)3項(xiàng)。”昨天，蘇州天準(zhǔn)科技股份有限公司舉行新聞通氣會。由該公司承接的“國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)——復(fù)合式高精度坐標(biāo)測量儀器開發(fā)和應(yīng)用”獲重大突破，精度逼近0.3微米的最終目標(biāo)。由此，中國成為繼德國、日本之后掌握同等高精度測量技術(shù)的第三個國家。

“這是我國在儀器儀表領(lǐng)域的一個重大自主創(chuàng)新成果，標(biāo)志著中國在高精度測量領(lǐng)域達(dá)到全球頂尖水平。目前，國內(nèi)還沒有其他企業(yè)能達(dá)到‘蘇州天準(zhǔn)’這樣的水平，該精度級測量已是高端制造業(yè)中的皇冠。”中國儀器儀表協(xié)會機(jī)械測量分會理事長謝華錕說。

記者在該公司恒溫車間看到，這款測量儀由測量部分和電腦部分構(gòu)成。品質(zhì)工程師陳偉超介紹：

“在測量部分的每個面上都裝有探針，儀器可自動掃描，并將測量數(shù)據(jù)傳送到電腦，來獲得精準(zhǔn)精密數(shù)據(jù)。”該重大專項(xiàng)在“超精密三軸運(yùn)動平臺、高精度復(fù)合式探測系統(tǒng)”兩方面取得重大突破。同時，在多測頭標(biāo)定與數(shù)據(jù)融合、21項(xiàng)誤差補(bǔ)償?shù)阮I(lǐng)域也都有突破與創(chuàng)新。

近年來，我國精密測量儀器產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，但高精度精密測量儀器依然需要進(jìn)口。“十二五”時期，國家科技部啟動“國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)”，重點(diǎn)支持包括精密光學(xué)儀器與系統(tǒng)在內(nèi)的具有市場推廣前景的重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)。

“1微米相當(dāng)于一根頭發(fā)直徑的五六十分之一。這0.3微米極精度測量是5年前由德國、日本推出的。三年前，當(dāng)我聽到蘇州企業(yè)要搞這樣的高精度測量儀、看到蘇州這幫年輕人在悉心攻關(guān)時，我的眼淚都要掉下來了。”今年已70多歲、一生從事測量儀器研究的謝華錕說。

“天準(zhǔn)科技”由2016年蘇州十大科技創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)人物之一的徐一華于2005年在蘇州科技城創(chuàng)辦。他曾參與多項(xiàng)國家“863計(jì)劃”等重大項(xiàng)目，在微軟研究院工作多年。作為中國唯一具有研發(fā)亞微米級超高精度測量儀器能力的企業(yè)，“天準(zhǔn)科技”在2013年承擔(dān)起這項(xiàng)重大專項(xiàng)后，就會同中國計(jì)量科學(xué)研究院、天津大學(xué)、中國科學(xué)院光電研究院等共同攻關(guān)。

“事實(shí)上，工業(yè)4.0及智能制造都呼喚有更精密的測量儀器作為后盾與基礎(chǔ)。通過實(shí)施好這一國家重大專項(xiàng)項(xiàng)目，將進(jìn)一步為我國精密制造業(yè)提供工業(yè)自動化和智能化解決方案。”徐一華說。（記者 周建越）