物聯(lián)網(wǎng)、醫(yī)療和健康監(jiān)護、智能手機是MEMS應用三大驅(qū)動
尤政在演講時介紹,MEMS作為軍民兩用技術(shù)發(fā)展迅速,汽車行業(yè)傳感器中80%采用MEMS。目前MEMS發(fā)展趨勢受三大應用驅(qū)動,分別是物聯(lián)網(wǎng)、醫(yī)療和健康監(jiān)護、智能手機。中國MEMS傳感器暨集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展(蚌埠)高峰論壇開幕
中國MEMS傳感器暨集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展(蚌埠)高峰論壇開幕
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目前,214所已具備比較完善的MEMS設(shè)計平臺、工藝加工平臺和測試平臺,已形成抗高沖擊高G值加速度計、高精度抗高沖擊低G值加速度計產(chǎn)品,高精度抗高沖擊MEMS陀螺儀、微慣性測量單元、三軸MEMS振動傳感器組件,以及MEMS高溫壓力傳感器等系列化產(chǎn)品。
MEMS傳感器在汽車上的應用不斷擴大,它們在汽車電子穩(wěn)定性控制系統(tǒng)(包括輪速傳感器、陀螺儀以及剎車處理器)、車道偏離警告系統(tǒng)和盲點探測系統(tǒng)(包括雷達、紅外線或者光學傳感器)各個方面都得到了使用。
微機電系統(tǒng)市場中最大和最有活力的領(lǐng)域,是消費與移動器件。智能手機與平板是驅(qū)動增長的關(guān)鍵力量,具有代表性的,是這些設(shè)備中的加速計、麥克風、體聲波濾波器和3軸陀螺儀等新興傳感器。
其中的3軸陀螺儀,在與加速計配合使用時,可以讓設(shè)備感測左、右、上、下、前、后六個方向,從而更加精確地感測運動,目前已被用于高端智能手機、平板產(chǎn)品和游戲設(shè)備等。


