徐州日報訊（全媒體記者 王正喜）11月19至20日，第二屆中國半導體大硅片論壇在徐州舉行，協(xié)鑫、合晶、新昇、有研、鑫晶、金瑞泓、申和等產(chǎn)業(yè)龍頭企業(yè)及設(shè)備重點企業(yè)的專家學者齊聚徐州，探討大硅片生產(chǎn)技術(shù)的挑戰(zhàn)、集成電路大硅片的生產(chǎn)加工設(shè)備的競爭格局與設(shè)備國產(chǎn)化進展、電子級多晶硅應用及技術(shù)發(fā)展、12英寸半導體單晶爐國產(chǎn)化的意義與挑戰(zhàn)等半導體前沿課題。

大硅片研發(fā)與商業(yè)化道路尤其艱難，技術(shù)人才，產(chǎn)業(yè)積累，缺一不可�，F(xiàn)在國產(chǎn)大硅片已經(jīng)突破了從“0”到“1”的第一關(guān)。“我們希望，在不遠的將來有更多的企業(yè)實現(xiàn)從“0”到“1”的第一關(guān)，更重要的是實現(xiàn)從“1”到“∞”的國產(chǎn)大硅片的終極跨越。這個目標，是全體半導體人的使命擔當。”江蘇鑫華半導體材料有限公司總經(jīng)理田新在發(fā)言中說。

現(xiàn)在一般的概念8英寸以上的尺寸都可稱之為大硅片。大硅片的生產(chǎn)工藝技術(shù)也是從拉單晶開始，它不僅僅是面積增大帶來的工藝復雜度增加，而且在其他諸多控制因素上要求更高了。合晶科技股份有限公司技術(shù)長李文中博士說，硅片核心技術(shù)史是一個挑戰(zhàn)極限的過程。例如晶體生長，已經(jīng)到了完全消除原生缺陷的完美狀態(tài)。大硅片材料，目前還處于被國外大公司壟斷的格局，尤其是12英寸硅片，全球市場呈現(xiàn)出高度集中和壟斷態(tài)勢，國內(nèi)同行還需要能夠沉下心來加強研發(fā)、實現(xiàn)突破。

行業(yè)首席專家、中銀國際證券研究部副總裁楊紹輝說，海內(nèi)外設(shè)備商正在角逐中國半導體大硅片市場。從目前已交付半導體工廠來看，使用中國自產(chǎn)設(shè)備的比例還不到一成，但從長遠看，無論是半導體級硅材料的加工制造，還是半導體硅片加工設(shè)備、檢測設(shè)備等的本土化，都是大勢所趨，國家也提出了中國半導體自給率的路線圖，鼓勵半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，再苦再累也要攻克半導體路上的各種難關(guān)。

2018年5月初，位于徐州經(jīng)開區(qū)的江蘇鑫華半導體材料科技有限公司集成電路用高純度硅料小批量出口韓國，并已向國內(nèi)部分晶圓加工廠批量供貨。目前鑫華半導體已與國內(nèi)近十家半導體硅片廠商建立供應關(guān)系，并與其他廠商開展認證工作。同樣位于徐州經(jīng)開區(qū)的徐州鑫晶半導體大硅片項目也進展順利，規(guī)劃建設(shè)國際先進的8英寸、12英寸半導體大硅片長晶及切磨拋生產(chǎn)線，項目主體廠房已全部完工，正在進行一期生產(chǎn)設(shè)備安裝，預計2019年底投產(chǎn)。項目建成后，將從源頭上對我國集成電路制造產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供關(guān)鍵支撐，具有重要戰(zhàn)略意義。與會專家學者在現(xiàn)場參觀鑫華半導體項目后，對于徐州打造全球領(lǐng)先的半導體大硅片制造基地、全國重要的集成電路設(shè)備生產(chǎn)基地和封測產(chǎn)業(yè)新高地這一目標，感到很受鼓舞，愿意在今后的產(chǎn)業(yè)化配套及設(shè)備國產(chǎn)化方面繼續(xù)共同努力。